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波長が短いエキシマレーザー光は、除去することが必要な角膜の一部分を、正確に除去することができます。
熱を発するものではないため、熱に弱い角膜組織にも悪影響を与えません。
エキシマレーザーに発がん性がないことも確認されています。
別名コールドレーザーとも呼ばれます。

1998年、エキシマレーザーによる手術は、厚生省（現・厚生労働省）に認可されました。